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​光刻机结构及工作原理详解

2026-02-01 14:34 来源:风海网 点击:

光刻机结构及工作原理详解

随着芯片制造工艺的持续微缩,光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记,更是成为了大家关照的焦点。

究竟光刻机是怎么工作的?我们来看一下ASML的科普。而要了解其原理,首先从了解其外面的保护壳开始。

视频来源:Cymer官方网站