光刻机结构及工作原理详解
光刻机结构及工作原理详解
随着芯片制造工艺的持续微缩，光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记，更是成为了大家关照的焦点。
究竟光刻机是怎么工作的？我们来看一下ASML的科普。而要了解其原理，首先从了解其外面的保护壳开始。
视频来源：Cymer官方网站
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